氧硫化碳化學式為COS，是一種無機化合物，常溫常壓下外觀為無色氣體狀，有臭雞蛋氣味。普通氧硫化碳的純度一般在95.0%-99.9%，是合成硫代氨基甲酸酯系列除草劑的通用中間體及重要醫藥中間體；電子級氧硫化碳產品的純度一般在4N（99.99%）及以上，主要用作集成電路制造的蝕刻氣。
20世紀末，中國開始研究并生產氧硫化碳產品，其合成方法較多，主要有干法和濕法兩大類。干法合成流程簡單、收率高，從成本和原料來源考慮，工業生產一般采用干法，但有比較多的雜質；濕法合成由于溶劑水的存在，容易使氧硫化碳產品進一步分解成雜質，增大提純難度，且濕法產生的廢水難以處理，不適合大規模量產。現階段，中國氧硫化碳行業生產工藝以干法工藝為主，同時，為滿足電子工業的高純度要求，中國氧硫化碳行業內企業及研究機構加強科研創新力度，在制備成本、工藝優化、純度提升等方面加大投入力度，大大提升了國內氧硫化碳行業整體的技術水平，部分企業的氧硫化碳產品規格已經覆蓋3N、4N、5N等規格。
氧硫化碳應用較廣泛，如在石化領域可用于生產元素硫或硫化物等含硫化學品及潤滑油添加劑等特殊化學品，在農藥領域可用于生產芐草丹、茵達滅、禾草丹等，在環境保護方面可以用于去除煙氣中的二氧化硫和氮氧化物等污染物，在電子工業領域可作為刻蝕氣體用于生產環節。國內氧硫化碳行業下游用戶以農藥生產企業和電子工業領域企業為主，農藥領域中南通泰禾公司自產自用大量氧硫化碳產品，使得國內農藥領域氧硫化碳需求占比較大，而電子工業領域用戶需求占比較低。
近年來，研究人員發現高純度的氧硫化碳可用作集成電路制造的蝕刻氣，從而代替難以降解并具有溫室效應的氟化物蝕刻氣。隨著各國政府對環保的日益重視，氧硫化碳這種對環境影響小于氟化物的氣體作為電子芯片制造、光伏、LED等行業的原輔料氣越來越受到關注，市場需求增長。根據新思界產業研究中心發布的
《2024-2028年氧硫化碳行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，2023年，我國氧硫化碳需求量約為3000噸，同比增長6%。
新思界
行業分析人士表示，未來，隨著中國經濟持續發展，中國將繼續大力支持電子工業發展，氧硫化碳作為一種重要的電子特氣產品，其需求將會隨著中國電子工業的發展而持續提升，同時隨著中國環保政策越來越嚴格，氧硫化碳在環保領域的應用有望得到提升，進一步推動中國氧硫化碳需求的增長，因此，未來中國氧硫化碳行業需求仍有較大增長空間。
