電子級(jí)溴化氫是一種用于半導(dǎo)體制造的高純度溴化氫(HBr)。溴化氫是由氫和溴元素組成的無(wú)機(jī)化合物,氣體為其常見(jiàn)形式,也可溶解在水中形成氫溴酸溶液。作為化工原料,溴化氫在有機(jī)合成、橡膠、染料、水處理、石油化工、金屬表面處理、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,電子級(jí)溴化氫可作用氫原子源、清潔劑、蝕刻劑、摻雜劑等。作為蝕刻劑,電子級(jí)溴化氫可用于磷摻雜多晶硅、單晶硅、二維半導(dǎo)體的蝕刻工藝中,用于輔助圖案形成和器件制備。
電子級(jí)溴化氫的純度、穩(wěn)定性對(duì)半導(dǎo)體器件性能具有重要影響,為保障半導(dǎo)體器件質(zhì)量,電子級(jí)溴化氫通常具有高純度、低金屬離子含量、高穩(wěn)定性、低揮發(fā)性有機(jī)物含量等特點(diǎn)。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2030年電子級(jí)溴化氫行業(yè)市場(chǎng)深度調(diào)研及投資前景預(yù)測(cè)分析報(bào)告》顯示,電子級(jí)溴化氫是氟碳類(lèi)刻蝕氣體的環(huán)保替代品,隨著環(huán)保要求提升、芯片先進(jìn)工藝不斷推進(jìn),電子級(jí)溴化氫市場(chǎng)需求將不斷釋放,預(yù)計(jì)2030年全球電子級(jí)溴化氫市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到3.0億美元。
在國(guó)際市場(chǎng)上,電子級(jí)溴化氫供應(yīng)商主要包括日本昭和電工、法國(guó)液化空氣集團(tuán)、德國(guó)林德集團(tuán)、日本艾迪科(ADEKA)、太陽(yáng)日酸等,以上企業(yè)占據(jù)全球電子級(jí)溴化氫市場(chǎng)絕大部分份額。
電子級(jí)溴化氫生產(chǎn)技術(shù)壁壘高,我國(guó)市場(chǎng)需求主要從日本進(jìn)口。但隨著國(guó)際貿(mào)易摩擦、地緣政治風(fēng)險(xiǎn)加劇,半導(dǎo)體供應(yīng)鏈安全重要性日益凸顯,在此背景下,我國(guó)企業(yè)也加快了電子級(jí)溴化氫市場(chǎng)布局。
目前我國(guó)電子級(jí)溴化氫市場(chǎng)布局企業(yè)有福建福豆新材料、湖南凱美特氣體、廣東華特氣體、廣鋼氣體、福建久策氣體、金宏氣體、昊華氣體、天津綠菱氣體等。昊華氣體為中國(guó)中化控股有限責(zé)任公司旗下科技型企業(yè),其“電子級(jí)溴化氫及氟甲烷生產(chǎn)線(xiàn)”項(xiàng)目成功入選了《中央企業(yè)科技成果應(yīng)用拓展工程首批項(xiàng)目清單(2024年)》。
新思界
行業(yè)分析人士表示,電子級(jí)溴化氫為新型等離子刻蝕氣體,在半導(dǎo)體制造中不可或缺,隨著芯片工藝迭代、環(huán)保要求提升,電子級(jí)溴化氫應(yīng)用將更加廣泛。全球電子級(jí)溴化氫市場(chǎng)集中度較高,我國(guó)市場(chǎng)需求依賴(lài)進(jìn)口,但電子級(jí)溴化氫國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程正不斷推進(jìn),目前國(guó)內(nèi)企業(yè)電子級(jí)溴化氫規(guī)劃產(chǎn)能已達(dá)數(shù)千噸,隨著相關(guān)項(xiàng)目投產(chǎn),我國(guó)電子級(jí)溴化氫將實(shí)現(xiàn)自主供應(yīng)。