靜電卡盤,又被稱為靜電吸盤,簡(jiǎn)稱ESC或E-CHUCK,是一種適用于大氣或真空環(huán)境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運(yùn)設(shè)備的總稱。在近年來(lái),靜電卡盤憑借其高穩(wěn)定性、晶圓平坦度高、顆粒污染小、邊緣效應(yīng)小等優(yōu)勢(shì),在半導(dǎo)體、面板顯示、光學(xué)元件、光伏等領(lǐng)域中有著較大的應(yīng)用需求。
靜電卡盤行業(yè)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展有著緊密聯(lián)系。近年來(lái),隨著人工智能、大數(shù)據(jù)及物聯(lián)網(wǎng)等新一代信息技術(shù)的持續(xù)快速發(fā)展,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迎來(lái)了新一輪的發(fā)展,中國(guó)也在大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。就目前來(lái)看,我國(guó)已經(jīng)發(fā)展成為了半導(dǎo)體設(shè)備需求大國(guó),市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大,發(fā)展到2019年增長(zhǎng)至284億美元,在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)所占的比重也提升至49%左右。而靜電卡盤作為半導(dǎo)體設(shè)備的細(xì)分一類,其市場(chǎng)發(fā)展勢(shì)頭也較為強(qiáng)勁。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2021年全球及中國(guó)靜電吸盤(ESC)產(chǎn)業(yè)深度研究報(bào)告》顯示,近五年來(lái),隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的持續(xù)快速發(fā)展,下游半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的不斷擴(kuò)大,國(guó)家相關(guān)政策的持續(xù)利好以及社會(huì)資本的日益活躍,我國(guó)靜電卡盤市場(chǎng)需求不斷擴(kuò)大,發(fā)展到在2019年達(dá)到了130臺(tái),同比增長(zhǎng)44.2%。但就目前來(lái)看,國(guó)內(nèi)從事靜電卡盤生產(chǎn)制造的企業(yè)數(shù)量不多,仍處于發(fā)展起步階段,導(dǎo)致國(guó)內(nèi)市場(chǎng)應(yīng)用需求主要依賴于國(guó)外進(jìn)口。
從進(jìn)口情況來(lái)看,由于靜電卡盤市場(chǎng)準(zhǔn)入門檻相對(duì)較高,需要較高的技術(shù)水平以及相對(duì)雄厚的資金儲(chǔ)備,而中國(guó)目前仍處于發(fā)展起步階段,國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品在市場(chǎng)并不占競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),我國(guó)靜電卡盤市場(chǎng)對(duì)外依存度較高。具體來(lái)看,從2016年的2110萬(wàn)元發(fā)展到2019年達(dá)到了5350萬(wàn)元,年均復(fù)合增長(zhǎng)率約為36.4%;其中,我國(guó)靜電卡盤的進(jìn)口規(guī)模發(fā)展到2019年達(dá)到5183萬(wàn)元,占據(jù)著總市場(chǎng)規(guī)模超過(guò)95%的比重。可以看出,我國(guó)靜電卡盤市場(chǎng)對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的依賴性極高,未來(lái)國(guó)產(chǎn)替代空間巨大。
從市場(chǎng)格局來(lái)看,在全球市場(chǎng),靜電卡盤市場(chǎng)主要被Shinko(新光電氣)、TOTO、NTK CERATEC等國(guó)際巨頭占據(jù)著絕大部分份額,市場(chǎng)資源高度集中;而在中國(guó)市場(chǎng),我國(guó)靜電卡盤行業(yè)起步時(shí)間較晚,生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)鏈尚未完善,本土企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力也極弱,除了少數(shù)(如北京華卓精密科技股份有限公司、廣東海拓創(chuàng)新精密設(shè)備科技有限公司等)實(shí)現(xiàn)了規(guī)模化生產(chǎn)之外,絕大多數(shù)企業(yè)仍處于產(chǎn)品研發(fā)階段。
新思界
行業(yè)分析人士表示,近年來(lái),隨著人工智能、大數(shù)據(jù)及物聯(lián)網(wǎng)等新一代信息技術(shù)的持續(xù)快速發(fā)展,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迎來(lái)了新一輪的發(fā)展。而靜電卡盤作為半導(dǎo)體設(shè)備的細(xì)分一類,其市場(chǎng)發(fā)展勢(shì)頭也較為強(qiáng)勁。但就目前來(lái)看,我國(guó)靜電卡盤行業(yè)處于發(fā)展起步階段,本土企業(yè)生產(chǎn)能力較低,導(dǎo)致市場(chǎng)供應(yīng)不足,對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的依賴度也極高,未來(lái)進(jìn)口替代空間巨大。